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Hochdynamische XYZ-Theta Kreuztische mit integriertem Linearmotor,
mit Messsystem,
Endschaltern und Kabelschleppkette
- Hohe Beschleunigungen (>100 m/s²)
- extrem ruhiger Lauf, auch bei hohen Geschwindigkeiten
- für hochgenaue, dynamische Anwendungen in Bezug auf Schrittantwort
- konstante Geschwindigkeit und Geradheit
- eisenloser Linearmotor
- fein auflösender Maßstab
- vollkommen berührungs- und wartungsfrei
- ausfallsichere Luftlager durch hochwertige Notlaufschicht
- Werkstoffe und Oberflächen sind Reinraum geeignet
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Linearachse / Kreuztische
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EZ 0116 XY-Kreuztisch, mit Linearmotor, luftgelagert
- Wiederholgenauigkeit < 0,3 µm
- Beschleunigung bis 25 m/s²
- V max 2,5 m/s
- Hub 250 mm
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EZ 0512 XY-Kreuztisch mit Linearmotor, luftgelagert
- Wiederholgenauigkeit < 100 nm
- Hub 250 mm
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EZ 0512 mit zusätzlicher Z und Theta-Achse mit Linearmotor, luftgelagert
- Wiederholgenauigkeit < 200 nm
- Beschleunigung bis 10 m/s²
- Hub 250 mm
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EZ 0755 YXZ-Theta Positioniersystem, luftgelagert
für extrem hohe Genauigkeiten
- Wiederholgenauigkeit < 20 nm
- Beschleunigung bis 5 m/s²
- Hub 250 mm
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EZ-0333 XY-Durchlicht Kreuztisch, luftgelagert
- Wiederholgenauigkeit < 1 µm
- Beschleunigung bis 30 m/s²
- V max 3 m/s
- Hub 800 x 300 mm
- Wafer-Aufnahme 2 x 10 Zoll
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